低浓度氢氟酸浓度计
HF-96
(制造单位：HORIBA Advanced Techno有限公司)
概要
用于半导体清洗工艺的氢氟酸浓度随着设备的设计规则的细微化需要进一步对低浓度进行控制。HF-96采用优良耐蚀性的玻璃碳，可以高精度且稳定地监测低浓度的氢氟酸。
特点
可以测量0.5%或更低的HF浓度
HF：1ppm分辨率(＝0.0001%分辨率)
采用具有良好耐蚀性的玻璃碳做为电极材料
2ch传送信号输出 可选择并显示氢氟酸浓度/盐酸浓度/导电率/温度中2的两项
4点报警接点
DIN96的小巧尺寸
适合规格：CE标记、FCC
外形尺寸图
●转换器 HF-96
●检测器 FS-10
