半导体

分类

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• 掩模监测(Reticle/Mask)
• 薄膜监测

气体监测产品

FTIR气体分析仪

• FTIR气体分析仪(FG-100A系列)
• 在线气体监测仪(IR-150系列)

质量流量控制器相关

• 多量程/多气体　数字式质量流量控制器
  (SEC-Z500 系列)
• 数字式质量流量控制器 (SEC-V100D 系列)
• 质量流量控制器 (SEC-E40 系列)
• 质量流量控制器 (SEC-400 系列)
• 高温应用质量流量控制器
  (SEC-8000/2000 系列)

压力控制器

• 自动压力调整器(UR-7300 系列)
• 压电阀(PV-1000/2000 系列)

液体材料气化系统相关

• 微量液体质量流量计/控制器(LF-F/LV-F 系列)
• 混合注入(MI/MV 系列)
• 直接注入(VC 系列)

气体计测器

• 高精度精密膜流量计(SF-1U/2U)

质量流量控制器附件

• 控制单元(PAC-D1/D2)
• 质量流量控制器检验器(MFT-20)
• 专用电源(PAC 系列)
• 显示器(DU-102E/103K)
• 设定器(SU-502EA/503ED)
• 信号电缆・转换适配器(SC/CA 系列)

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