在线气体浓度计
IR-150
(制造单位：HORIBA STEC有限公司)
概要
在线气体监测仪 IR-150系列是使用了NDIR法(非分散型红外吸收法)的半导体气体浓度监测仪。
它可以在线检测用于化合物半导体制造工艺的液体材料 TMAI、TMGa、TMIn、DEZn 等固体以及液体材料中发生气化的气体浓度。
特点
最适于MOCVD用液体,固体材料气体的浓度管理
实现了与MFC相等的操作通用性和价格统一性。
在线实时检测浓度。
配备有安全探测安全系统(SDSS)，支持将来的300mm全自动晶圆生产。
系统中包括浓度、压力的报警，和报警输出。
小巧、可随意安装设置，不需要选择空间
具备超群的性价比，最适于生产线中的浓度管理。