压电阀
PV 系列
(制造单位：HORIBA STEC有限公司.)
概要
它内置有高速响应的压电阀，接气部采用了全金属构造，最适于超清洁类型的高纯度气体供应系统。
通过金属封口方式实现了超低泄漏
不仅可进行气体的流量控制，而且还可以进行液体的流量控制
技术规格
| PV-1000 | |
| 流量量程 | 1/5/100/200/500 CCM 1/2/5 LM (入口端为大气压力、出口端为真空、以N2换算) |
| 流量控制范围 | 全标度的2〜100% |
| 阀门方式 | 常开/关闭型 |
| 控制输入1 | 0〜5VDC |
| 响应性 | 0.5秒以内 |
| 使用温度 | 0〜50℃ |
| 使用压力 | 最大值.300kPa |
| 耐压 | 1MPa |
| 泄漏规格 | 5×10-12Pa・m3(He) |
| PV-2000 | |
| 流量量程 | 10/20 LM (入口端为大气压力、出口端为真空、以N2换算) |
| 流量控制范围 | 全标度の2〜100% |
| 阀门方式 | 常开/关闭型 |
| 控制输入1 | 0〜5VDC |
| 响应性 | 0.5秒以内 |
| 使用温度 | 0〜50℃ |
| 使用压力 | 最大值.300kPa |
| 耐压 | 1MPa |
| 泄漏规格 | 5×10-12Pa・m3(He) |
外形尺寸（单位：mm）
| PV-1000 | PV-2000 | |
| A | 25.0±1 | 32.0±1 |
| B | 118.5±2 | 125.5±2 |
| C | 14.0 | 16.75 |
| D | 42.0 | 47.5 |