数字式质量流量控制器
SEC-V100D 系列
(制造单位：HORIBA STEC有限公司)
以流量设定点作为流量误差的基准，从而实现了高精度流量控制的型号
概要
搭载了针对热虹吸现象的原理上而采取了相应措施的MF传感器
技术规格
| 型号 | SEC- (质量流量控制器) | V110DM | V120DM |
|---|---|---|---|
| SEF- (质量流量计) | V110DM | V120DM | |
| 气体接触部材质 | SUS316L.PTFE.磁性不锈钢 | ||
| 阀门型号 | NO:非通电时 开； NC:非通电时 关闭 | 非通电时 关闭 | |
| 标准流量量程 (N2相当F.S.) |
10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM | 20/30/50 SLM | |
| 流量控制范围 (适于SEC系列) |
2〜100% F.S. | ||
| 流量测量范围 (适于SEF系列) |
0〜100% F.S. | ||
| 响应速度 | 1秒以内(T98) | ||
| 流量精度*1 | ±1.0% S.P.以内[30〜100% F.S.]/±0.3% F.S.以内[2〜30% F.S.] | ||
| 直线性 | ±0.5% F.S.以内 | ||
| 重复稳定性 | ±0.2% F.S.以内 | ||
| 工作差压值*2 (适于SEC系列) |
50〜300kPa(d) 10SLM:100〜300kPa(d) | 150〜300kPa(d) 50SLM:250〜300kPa(d) | |
| 工作差压值*2 | 300kPa(d) | ||
| 耐 压 | 1MPa(G) | ||
| 外部泄漏率 | 5×10-12Pa・m3/s(He)以下 | ||
| 密封方法 | 金属封口 | ||
| 使用环境温度 | 5〜50℃ | ||
| 温度影响 Span | 0.08% F.S./℃ | ||
| 流量设定信号 | 模拟：0.1〜5VDC/2〜100%(输入阻抗1MΩ以上) 数字式：RS-422A(F-Net 通信协议) | ||
| 流量输出信号 | 模拟：0〜5VDC(最小负荷电阻2MΩ以上) 数字式：RS-422A(F-Net 通信协议) | ||
| 驱动电源 | +15VDC ±5% 150mA/-15VDC ±5% 200mA | +15VDC ±5% 150mA/-15VDC ±5% 250mA | |
| 标准接头 | 1/4VCR类型 或者集成气体面板法兰 | ||
| 标准附加功能 | 快速启动功能*3、自动关闭功能*3、阀门电压功能*3 自动清零功能(SEC-V110DM)*3、零位调整开关 | ||
*1：SEMI：以E56-1296为准。
*2：入口压力定为最大值300kPa(G)。
*3：适于SEC系列。
※也可以搭载安装灵活自如的传感器(MF传感器)。
※SCCM、SLM是表示气体的流量单位(mL/min、L/min at 0℃ 101.3kPa)的记号。