多量程/多气体
数字式质量流量控制器

SEC-Z500 系列
(制造单位：HORIBA STEC有限公司)

通用型高端型号

概要

适用多气体/多量程

高精度：保证±1.0% S.P.(设置点)

高速响应：满量程1秒以内(T98) 搭载有可变 PID

适用于微小流量到大流量(200SLM ： SEC-Z540系列)

小型尺寸：适于面间距离 106mm、1.125inch(英寸)气体面板、到50SLM同一面间距离的106mm

超清洁类型：接气部采用全不锈钢构造，其内面进行研磨标准处理

和模拟MFC之间的完全互换：与数字/模拟通信相对应(SEC-Z512MG/Z522MG)

适用于DeviceNet™接口(SEC-Z514/Z524MG)

型式	SEC(质量流量控制器)	Z512MG (DeviceNet™ 模式： Z514MG)	Z522MG (DeviceNet™ 模式： Z524MG)
型式	SEF- (质量流量计)	Z512MG (DeviceNet™ 模式： Z514MG)	Z522MG (DeviceNet™ model: Z524MG)
气体接触部材质		SUS316L、内面研磨处理标准
阀门型号		NO:非通电时开； NC:非通电时；关闭
标准流量量程 (N2相应F.S.)		#01: 30/#1.5: 55/#02: 100/#2.5: 175/#03: 300/#3.5: 550 SCCM #04: 1/#4.5: 1.75/#05: 3/#5.5: 5.5/#06: 10 SLM	#07: 30/#08: 50 SLM (N₂,H₂,Ar,O₂) ＊2
流量控制范围		2〜100% F.S.
响应速度		1秒以内 (T98)
流量精度＊1		±1.0%S.P.以内(25〜100%F.S.) ±0.25%F.S.以内(2〜25%F.S.)
直线性		±0.5% F.S.
重复稳定性		±0.2% F.S.
工作差压值		50〜300kPa (d) #5.5 and #06 100〜300kPa(d)	#07: 200〜300kPa(d) #08： 200(阀门C)/250(阀门 O)〜300kPa(d)
最大工作压力		450 kPa (G)
耐压		1MPa(G)
外部泄漏率		5×10-12Pa・m3/s (He)
使用环境温度		5〜50℃
流量设定信号		数字： RS-485 (F-Net 协议) DeviceNet™ ： (SEC-Z514MG/Z524MG) 模拟： 0.1〜5VDC (输入阻抗1MΩ以上)
流量输出信号		数字： RS-485 (F-Net 协议) DeviceNet™ ： (SEC-Z514MG/Z524MG) 模拟： 0〜5VDC (最小负荷电阻2kΩ)
驱动电源		＋15V ±5% 150mA −15V ±5% 150mA DeviceNet™ : 遵照 ODVA 标准 (额定值 24VDC (11 to25VDC) 4VA
标准接头		1/4”VCR 类型或者集成气体面板法兰

＊ 1：SEMI：以E56-1296为准。
＊ 2：有关其他的气体种类，请另行咨询协商。
※ SCCM，SLM是表示气体的流量单位(mL/min， L/min at 0℃、101.3kPa)的记号。